商品类型：半导体尾气处理设备
产品描述：燃烧水洗式尾气处理机是一个专门处理含氟性气体的尾气处理系统，它混合了高温燃烧分解及水溶解的过程，将制程所产生的尾气，经由反应室的高温燃烧， 反应成粉末，或是反应成溶解于水中的物质，再经由后道水洗而排放至厂务处理系统，所处理的尾气维修保养的频率少且时间
适用高温燃烧处理半导体或化合物制程气体
PFCs气体：CF4, SF6, NF3等
腐蚀性气体：Cl2, F2, BCl3, HBr等
可燃性气体：SiH4, TEOS, DCS, H2等
Dry Etch/Thin Film/Implant
装维护便捷,PM时间短
尾气入口管可为KF50,避免粉尘附着，延长PM周期
独特的内部结构设计，经济C.O.O与C.O.C，使用成本低
可选节水型号,水循环使用，拥有极低的耗水量
在各种制程上采用高效的高温燃烧器，可有效选择高低功率，降低运行费用
