设备优势：

• 1可满足大气量制程工艺，单台设备氢气处理量可达到300SLM
  

• 2.超强耐氢氟酸腐蚀性能，大量采用哈氏合金C276材料

• 3.排出气体湿度可控，保障厂务排风管道保持干燥

• 4.RO水用量更低，废水排放量更少

• 5.风机环吹代替CDA环吹，减轻厂务压力，降低运行成本

• 6.低氮氧化合物一尾排NOx浓度≤20PPM，保障厂务排放环保达标

• 7.设备价格具有竞争力，维护更便捷，能耗&维护成本更低