设备优势：

• 1设备PM周期大于45天
  

• 2.排出气体湿度可控，保障厂务排风管道保持干燥

• 3.十二入口设计，管路连接无并管，保证排气流速，提升PE-Poly工艺效率&产品良率

• 4.低氮氧化合物一尾排NOx浓度20PPM，保障厂务排放环保达标。

• 5.可满足大气量制程工艺，单台设备硅烷处理量40SLM,氢气处理量150SLM

• 6.设备价格具有竞争力，维护更便捷，能耗&维护成本更低。